panpan9527 发表于 2022-4-2 21:10

集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片 GB/T 41325-2022

GB/T 41325-2022
集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片
英文名：Low density crystal originated pit polished monocrystalline silicon wafers for integrated circuit
发布日期：2022-03-09
实施日期：2022-10-01
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