本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管(以下简称PE石英管)。
本文档为标准规范文档。
标准号:JC/T 2243-2014
标准中文名:等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
标准的英文名:Quartz tube covered in a film for PECVD
发布日期:2014-10-14
实施日期:2015-04-01
标准文件有7页。
等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管 JC_T 2243-2014.pdf
(292.74 KB)
|
|
发表于 2021-6-17 12:29