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    [冶金矿产] 硅多晶真空区熔基硼检验方法 GB/T 4060-2007

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    发表于 2021-9-27 12:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
    本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围:0.002×10-3~100×10-9。
    本文档为标准规范文档。
    硅多晶真空区熔基硼检验方法 GB/T 4060-2007
    发布日期：2007-09-11
    实施日期：2008-02-01
    作废日期：2019-06-01
    标准文件有7页。
    硅多晶真空区熔基硼检验方法 GB_T 4060-2007.pdf (199.1 KB)
    真空, 多晶

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