本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
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标准号:GB/T 26111-2010
标准中文名:微机电系统(MEMS)技术 术语
标准的英文名:Micro-electromechanical system technology. Terms
发布日期:2011-01-10
实施日期:2011-10-01
标准文件有37页。
微机电系统(MEMS)技术 术语 GB_T 26111-2010.pdf
(1.23 MB)
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发表于 2022-1-21 10:32