本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料,以细硅芯为发热体,在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。
本文档为标准规范文档。
标准号:GB/T 4061-2009
标准中文名:硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
标准的英文名:Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
标准文件有5页。
硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 GB_T 4061-2009.pdf
(112.85 KB)
|
|
发表于 2021-8-24 18:06