本标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于由直拉法、悬浮区熔法(包括中子嬗变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200 mm的圆形硅单晶切割片和研磨片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等,或进一步加工成抛光片。
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硅单晶切割片和研磨片 GB/T 12965-2018
发布日期:2018-09-17
实施日期:2019-06-01
标准文件有12页。
硅单晶切割片和研磨片 GB_T 12965-2018.pdf
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