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    [冶金矿产] 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 GB/T 4059-2007

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    发表于 2022-1-21 10:26 | 显示全部楼层 |阅读模式
    本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。
    本文档为标准规范文档。
    硅多晶气氛区熔基磷检验方法 GB/T 4059-2007
    实施日期：2008-02-01
    作废日期：2019-11-01
    采用标准:ASTM F1723-1996,MOD
    标准文件有7页。
    硅多晶气氛区熔基磷检验方法 GB_T 4059-2007.pdf (225.12 KB)
    多晶, 区熔

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