本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括中子嬗变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200mm的硅单晶抛光片。产品主要用于制作集成电路、分立元件、功率器件等，或作为硅外延片的衬底。
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硅单晶抛光片 GB/T 12964-2018
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
标准文件有11页。
硅单晶抛光片 GB_T 12964-2018.pdf
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发表于 2022-1-21 18:58