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    快下载»版块 › 文档下载 › 技术资料 › 碳化硅单晶抛光片规范 SJ/T 11502-2015
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    [冶金矿产] 碳化硅单晶抛光片规范 SJ/T 11502-2015

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    发表于 2021-10-27 09:22 | 显示全部楼层 |阅读模式
    本规范规定了碳化硅单品抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。本规范适用于品型为6H和4H,单面或双面抛光,直径100mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。
    本文档为标准规范文档。
    碳化硅单晶抛光片规范 SJ/T 11502-2015
    发布日期：2015-04-30
    实施日期：2015-10-01
    标准文件有20页。
    碳化硅单晶抛光片规范 SJ_T 11502-2015.pdf (3.21 MB)
    抛光, 光片

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